晶圓廠與機臺自動化供應商 Crossing Automation Inc. 日前推出18寸晶圓分類機—— Spartan 450 ，並宣布這臺全新分類機已接獲一半導體領導業(yè)者訂單。此平臺預估將于 2012 年第一季出貨。

　　Crossing Automation 的 Spartan 450 分類機為市場首批專門生產(chǎn) 18 寸晶圓的大型分類機。它融合所有關鍵功能以與制造執(zhí)系統(tǒng) (MES) 接合，進而啟用全方位晶圓管理。它初期鎖定 22 奈米技術節(jié)點，可縮小至 7 奈米節(jié)點。全新分類機的設計采用經(jīng)生產(chǎn)驗證的 Crossing 12 寸 Spartan 平臺，至今已有逾 1,000 個系統(tǒng)應用在高產(chǎn)量的制造上。

　　與 12 寸 Spartan 相同，18 寸分類機以單機、整合單位設計，可更快達成機臺安裝與工具連結，移動更簡便，提高靈活性，加速極致生產(chǎn)率。

　　Gartner 研究總監(jiān) Samuel Tuan Wang 指出 ：“18 寸晶圓對半導體廠商深具吸引力，因為整個矽晶表面部分及其良率均較小尺寸的晶圓來得大。近幾年來，12 寸晶圓發(fā)展蓬勃，已取代 8 寸晶圓，成為晶圓技術的主流。由 12 寸晶圓邁入 18 寸晶圓將使晶片生產(chǎn)力加倍，且半導體產(chǎn)業(yè)將有機會持續(xù)茁壯成長。”