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芯片的先進封裝會發(fā)展到4D?

作者: 時間:2025-05-09 來源:硬十 收藏

技術分為三個層次,芯片上的集成,封裝內的集成,PCB板級集成,其代表技術分別為SoC,SiP和PCB(也可以稱為SoP或者SoB)

本文引用地址:http://www.bjwjmy.cn/article/202505/470242.htm


芯片上的集成主要以2D為主,晶體管以平鋪的形式集成于晶圓平面;同樣,PCB上的集成也是以2D為主,電子元器件平鋪安裝在PCB表面,因此,二者都屬于2D集成。而針對于封裝內的集成,情況就要復雜多。


技術分類的兩個重要據(jù):1.物理結構,2.電氣連接(電氣互連)。


目前先進封裝中按照主流可分為2D封裝、2.5D封裝、3D封裝三種類型。


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2D封裝

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2D封裝是指在基板的表面水平安裝所有芯片和無源器件的集成方式。2D封裝上包括FOWLP、FOPLP等技術。


物理結構所有芯片和無源器件均安裝在基板平面,芯片和無源器件和 XY 平面直接接觸,基板上的布線和過孔均位于 XY 平面下方;電氣連接均需要通過基板除了極少數(shù)通過鍵合線直接連接的鍵合點


臺積電的InFO:

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臺積電在2017年開發(fā)的InFO技術。InFO技術與大多數(shù)封裝廠的Fan-out類似,可以理解為多個芯片F(xiàn)an-out的集成,主要區(qū)別在于去掉了silicon interposer,使用一些RDL層進行串連(2016年推出的iPhone7中的A10處理器,采用臺積電16nm FinFET以及InFO技術)。


日月光的eWLB:與臺積的InFO類似,都屬于Fan-out技術


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另外,還有
一種2D+ 集成


2D+集成是指的傳統(tǒng)的通過鍵合線連接的芯片堆疊集成。也許會有人問,芯片堆疊不就是3D嗎,為什么要定義為2D+集成呢


主要基于以下兩點原因


13D集成目前在很大程度上特指通過3D TSV的集成,為了避免概念混淆我們定義這種傳統(tǒng)的芯片堆疊為2D+集成;


2雖然物理結構上是3D的,但其電氣互連上均需要通過基板,即先通過鍵合線鍵合到基板然后在基板上進行電氣互連。這一點和2D集成相同,比2D集成改進的是結構上的堆疊,能夠節(jié)省封裝的空間,因此稱之為2D+集成。


物理結構所有芯片和無源器件均地位于XY平面上方部分芯片不直接接觸基板,基板上的布線和過孔均位于XY平面下方;


電氣連接均需要通過基板除了極少數(shù)通過鍵合線直接連接的鍵合點

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2.5D封裝

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2.5D封裝通常是指既有2D的特點,又有部分3D的特點,其中的代表技術包括英特爾的EMIB、臺積電的CoWoS、三星的I-Cube。

物理結構所有芯片和無源器件均XY平面上方至少有部分芯片和無源器件安裝在中介層上Interposer,在XY平面的上方有中介層的布線和過孔,在XY平面的下方有基板的布線和過孔。
電氣連接中介層Interposer可提供位于中介層上的芯片的電氣連接。


2.5D集成的關鍵在于中介層Interposer,一般會有幾種情況,1中介層是否采用硅轉接板,2中介層是否采用TSV,3采用其他類型的材質的轉接板在硅轉接板上,我們將穿越中介層的過孔稱之為TSV對于玻璃轉接板,我們稱之為TGV。


所謂的TSV 指的是:硅通孔-Through Silicon Via。定義為連接硅晶圓兩面并與硅襯底和其他通孔絕緣的電互連結構。

使用方法是:硅連接板和直接使用TSV。


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硅中介層有TSV的集成是最常見的一種2.5D集成技術,芯片通常通過MicroBump和中介層相連接,作為中介層的硅基板采用Bump和基板相連,硅基板表面通過RDL布線,TSV作為硅基板上下表面電氣連接的通道,這種2.5D集成適合芯片規(guī)模比較大,引腳密度高的情況,芯片一般以FlipChip形式安裝在硅基板上。


有TSV的2.5D集成示意圖:


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硅中介層無TSV的2.5D集成的結構一般如下圖所示,有一顆面積較大的裸芯片直接安裝在基板上,該芯片和基板的連接可以采用Bond Wire或者Flip Chip兩種方式,大芯片上方由于面積較大,可以安裝多個較小的裸芯片,但小芯片無法直接連接到基板,所以需要插入一塊中介層Interposer,在中介層上方安裝多個裸芯片,中介層上有RDL布線,可將芯片的信號引出到中介層的邊沿,然后通過Bond Wire連接到基板。這類中介層通常不需要TSV,只需要通過Interposer上表面的布線進行電氣互連Interposer采用Bond Wire和封裝基板連接。


無TSV的2.5D集成示意圖:


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英特爾的EMIB:概念與2.5D封裝類似,但與傳統(tǒng)2.5D封裝的區(qū)別在于沒有TSV。也正是這個原因,EMIB技術具有正常的封裝良率、無需額外和設計簡單等優(yōu)點。

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臺積電的CoWoS技術


臺積電的CoWoS技術也是一種2.5D封裝技術。根據(jù)中介層的不同可以分為三類,一種是CoWoS_S使用Si襯底作為中介層,另一種是CoWoS_R使用RDL作為中介層,第三種是CoWoS_L使用小芯片(Chiplet)和RDL作為中介層。


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臺積電InFO(2D)與CoWoS(2.5D)之間的區(qū)別在于,CoWoS針對高端市場,連線數(shù)量和封裝尺寸都比較大;InFO針對性價比市場,封裝尺寸較小,連線數(shù)量也比較少。
第一代CoWoS主要用于大型FPGA。CoWoS-1的中介層芯片面積高達約800mm2,非常接近掩模版限制。第二代CoWoS通過掩模拼接顯著增加了中介層尺寸。臺積電最初符合1200mm2的要求,此后將中介層尺寸增加到1700mm2。這些大型封裝稱為CoWoS-XL2。
最近,臺積電公布的第五代CoWoS-S的晶體管數(shù)量將增加20倍,中介層面積也會提升3倍。第五代封裝技術還將封裝8個128G的HBM2e內存和2顆大型SoC內核。


長電科技XDFOI技術:


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相較于2.5D TSV封裝技術,具備更高性能、更高可靠性以及更低成本等特性。該解決方案在線寬或線距可達到2um的同時,可實現(xiàn)多層布線層,另外,采用了極窄節(jié)距凸塊互聯(lián)技術,封裝尺寸大,可集成多顆芯片、高帶寬內存和無源器件。


三星的I-Cube


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三星的具有的先進封裝包括I-Cube、X-Cube、R-Cube和H-Cube四種方案。其中,三星的I-Cube同樣也屬于2.5D封裝。


3D封裝

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3D封裝和2.5D封裝的主要區(qū)別在于:2.5D封裝是在Interposer上進行布線和打孔,而3D封裝是直接在芯片上打孔和布線,電氣連接上下層芯片。3D集成目前在很大程度上特指通過3D TSV的集成。

3D集成和2.5D集成的主要區(qū)別在于2.5D集成是在中介層Interposer上進行布線和打孔,而3D集成是直接在芯片上打孔TSV和布線RDL電氣連接上下層芯片。

物理結構所有芯片和無源器件均位于XY平面上方芯片堆疊在一起,在XY平面的上方有穿過芯片的TSV在XY平面的下方有基板的布線和過孔。
電氣連接通過TSV和RDL將芯片直接電氣連接
3D集成大多數(shù)應用在同類芯片堆疊中,多個相同的芯片垂直堆疊在一起,通過穿過芯片堆疊的TSV互連,如下圖所示。同類芯片集成大多應用在存儲器集成中例如DRAM Stack,FLASH Stack等。
同類芯片的3D集成示意圖:


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不同類芯片的3D集成中,一般是將兩種不同的芯片垂直堆疊并通過TSV電氣連接在一起,并和下方的基板互連有時候需要在芯片表面制作RDL來連接上下層的TSV。


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臺積電的SoIC技術:


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臺積電SoIC技術屬于3D封裝,是一種晶圓對晶圓(Wafer-on-wafer)的鍵合技術。SoIC技術是采用TSV技術,可以達到無凸起的鍵合結構,把很多不同性質的臨近芯片整合在一起,而且當中最關鍵、最神秘之處,就在于接合的材料,號稱是價值高達十億美元的機密材料。

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SoIC技術將同質和異質小芯片集成到單個類似SoC的芯片中,具有更小尺寸和更薄的外形,可以整體集成到先進的WLSI(又名CoWoS和InFO)中。從外觀上看,新集成的芯片就像一個通用的SoC芯片,但嵌入了所需的異構集成功能。

英特爾的Foveros技術:

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從3D Foveros的結構上看,最下邊是封裝基底,之上安放一個底層芯片,起到主動中介層的作用。在中介層里有大量的TSV 3D硅穿孔,負責通上下的焊料凸起,讓上層芯片和模塊與系統(tǒng)其他部分通信。三星的X-Cube 3D封裝技術:

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使用TSV工藝,目前三星的X-Cube測試芯片已經能夠做到將SRAM層堆疊在邏輯層之上,通過TSV進行互聯(lián),是他們自家的7nm EUV工藝。

長電科技的擴展eWLB:

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長電科技基于eWLB的中介層可在成熟的低損耗封裝結構中實現(xiàn)高密度互連,提供更高效的散熱和更快的處理速度。3D eWLB互連(包括硅分割)是通過獨特的面對面鍵合方式實現(xiàn),無需成本更高的TSV互連,同時還能實現(xiàn)高帶寬的3D集成。華天科技的3D-eSinC解決方案:

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華天科技稱,2022年將開展2.5D Interpose FCBGA、FOFCBGA、3D FOSiP等先進封裝技術,以及基于TCB工藝的3D Memory封裝技術,Double Sidemolding射頻封裝技術、車載激光雷達及車規(guī)級12英寸晶圓級封裝等技術和產品的研發(fā)。

4D集成

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物理結構多塊基板以非平行方式安裝,每塊基板上都安裝有元器件元器件安裝方式多樣化。電氣連接基板之間通過柔性電路或者焊接連接基板上芯片電氣連接多樣化。基于剛柔基板的4D集成示意圖:

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4D集成定義主要是關于多塊基板的方位和相互連接方式,因此在4D集成也會包含有2D,2D+,2.5D,3D的集成方式。




關鍵詞: 電子集成 工藝 制程

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