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三星外包低端光掩模,將資源集中在ArF和EUV上
- 據(jù) The Elec 報(bào)道,三星計(jì)劃外包用于存儲(chǔ)芯片制造的光掩模的生產(chǎn)。到目前為止,該公司一直在內(nèi)部生產(chǎn)所有光掩模,以防止技術(shù)泄漏。Elec 表示,據(jù)報(bào)道,三星正在評(píng)估低端光掩模的潛在供應(yīng)商,例如 i-line 和 KrF。與此同時(shí),消息人士稱,三星計(jì)劃將 i-line 和 KrF 光掩模外包,以便將這些資源重新分配給 ArF 和 EUV。正如報(bào)告所強(qiáng)調(diào)的那樣,ArF 和 EUV 光掩模更先進(jìn),將成為增強(qiáng)三星技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵。據(jù) Business Korea 援引消
- 關(guān)鍵字: 三星 低端光掩模 ArF EUV
三星被曝將首次外包芯片“光掩?!鄙a(chǎn),聚焦ArF和EUV等先進(jìn)技術(shù)
- 5 月 14 日消息,光掩模(版)系生產(chǎn)集成電路所需之模具,是用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結(jié)構(gòu),其原理類似于沖洗相片時(shí)利用底片將影像復(fù)制到相片上。韓國(guó)科技媒體 TheElec 今日?qǐng)?bào)道稱,三星電子正計(jì)劃將內(nèi)存芯片制造所需的光掩模生產(chǎn)業(yè)務(wù)進(jìn)行外包。據(jù)稱,目前三星已啟動(dòng)供應(yīng)商評(píng)估流程,候選企業(yè)包括日本 Toppan 控股子公司 Tekscend Photomask 和美國(guó) Photronics 旗下 PKL(注:廠址位于京畿道),評(píng)估結(jié)果預(yù)計(jì)第三季度公布。TheElec 報(bào)道稱,三星準(zhǔn)備將低端產(chǎn)品(i-
- 關(guān)鍵字: 三星 外包芯片 光掩模 ArF EUV 半導(dǎo)體
三星旗下Semes成功開發(fā)出一種ArF-i光刻涂膠/顯影設(shè)備
- 6月24日,三星電子旗下的韓國(guó)半導(dǎo)體和顯示器制造設(shè)備公司表示,第一臺(tái)名為“Omega Prime”的設(shè)備已于去年供貨,Semes正在制造第二臺(tái)設(shè)備。Semes表示,在Omega Prime設(shè)備上應(yīng)用了噴嘴、烘烤溫度和機(jī)器人位置自動(dòng)調(diào)整系統(tǒng),以消除涂布層的偏差。目前,Semes已制造出KrF光刻涂膠/顯影設(shè)備,并在此基礎(chǔ)上開發(fā)了ArF版本,以支持波長(zhǎng)更短的新型光刻機(jī)。
- 關(guān)鍵字: 三星 Semes ArF-i 光刻涂膠 顯影設(shè)備
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