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一種電容式微加速度計的結(jié)構(gòu)設(shè)計和工藝仿真

作者：時間：2012-04-20 來源：網(wǎng)絡(luò)

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本文引用地址：http://www.bjwjmy.cn/article/186558.htm 加速度計相關(guān)文章:加速度計原理

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關(guān)鍵詞： 電容式 微加速度計 結(jié)構(gòu)設(shè)計 工藝

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