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ASML出貨新光刻機(jī)NXT2000i:用于7nm/5nm DUV工藝

- 據(jù)外媒報(bào)道,光刻機(jī)霸主ASML(阿斯麥)已經(jīng)開(kāi)始出貨新品Twinscan NXT:2000i DUV(NXT:2000i雙工件臺(tái)深紫外光刻機(jī)),可用于7nm和5nm節(jié)點(diǎn)?! XT:2000i將是NXE:3400B EUV光刻機(jī)的有效補(bǔ)充,畢竟臺(tái)積電/GF的第一代7nm都是基于DUV工藝?! ⊥瑫r(shí),NXT:2000i也成為了ASML旗下套刻精度(overlay)最高的產(chǎn)品,達(dá)到了和3400B一樣的1.9nm(5nm要求至少2.4nm,7nm要求至少3.5nm)?! SML將于本季度末開(kāi)始量產(chǎn)Twin
- 關(guān)鍵字: ASML 光刻機(jī)
ASML載具供應(yīng)商家登精密談中國(guó)EUV的發(fā)展,面臨諸多挑戰(zhàn)
- 載具對(duì)于曝光機(jī)發(fā)揮保護(hù)、運(yùn)送和存儲(chǔ)光罩等功能十分重要。家登精密多年來(lái)致力于研究曝光機(jī)載具,并為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML提供載具相關(guān)技術(shù)。 我們主要研究EUV的配套技術(shù),例如EUV的載具以及EUV的配套光罩,是7nm向5nm進(jìn)階的突破口。隨著5nm技術(shù)的升級(jí),EUV的重要性逐漸凸顯出來(lái),而載具的研究也越發(fā)緊迫。過(guò)去幾年,家登精密一直專心做一件事,那就是載具的配套研究。去年,我們的技術(shù)產(chǎn)品已經(jīng)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,這是一個(gè)值得自豪的成績(jī)。未來(lái),7nm工藝逐漸向5nm升級(jí),技術(shù)的研究會(huì)越來(lái)越困難
- 關(guān)鍵字: ASML EUV
看好中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)騰飛,ASML南京分公司近日開(kāi)業(yè)
- 據(jù)南京日?qǐng)?bào)報(bào)道,8月18日,全球最大芯片光刻設(shè)備市場(chǎng)供貨商阿斯麥(ASML)在南京的分公司正式開(kāi)業(yè)。作為臺(tái)積電的重要合作伙伴及上游供應(yīng)商,該企業(yè)選擇落戶在南京江北新區(qū)研創(chuàng)園孵鷹大廈。 跟隨臺(tái)積電的步伐,ASML在南京的布局在一年前啟動(dòng)。去年11月考察江北新區(qū)研創(chuàng)園后,被園區(qū)前端的產(chǎn)業(yè)定位、創(chuàng)新的整體設(shè)計(jì)、完善的軟硬件配套所吸引。今年8月,ASML南京分公司完成了750平米辦公設(shè)施搭建,以及服務(wù)工程師、裝機(jī)工程師、應(yīng)用工程師等多職能覆蓋的團(tuán)隊(duì)組建。談及ASML未來(lái)對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)前景的展望,該公司
- 關(guān)鍵字: ASML 臺(tái)積電
EUV需求看俏 ASML頻傳捷報(bào)

- 全球最大芯片光刻設(shè)備市場(chǎng)供貨商阿斯麥 (ASML) 公布最新2017第二季財(cái)報(bào)。ASML表示,由于不論邏輯芯片和DRAM客戶都積極準(zhǔn)備將EUV導(dǎo)入芯片量產(chǎn)階段,EUV光刻機(jī)目前第二季已累積27臺(tái)訂單總計(jì)28億歐元。 ASML 第二季營(yíng)收凈額 (net sales)21億歐元,毛利率(gross margin)為45%。在第二季新增8臺(tái)EUV系統(tǒng)訂單,讓EUV光刻系統(tǒng)的未出貨訂單累積到27臺(tái),總值高達(dá)28億歐元。 ASML預(yù)估2017第三季營(yíng)收凈額(net sales)約為22億歐元,毛
- 關(guān)鍵字: ASML EUV
EUV在手天下我有 ASML二季度表現(xiàn)亮眼

- 全球最大芯片光刻設(shè)備市場(chǎng)供貨商阿斯麥(ASML)近日公布2017第二季財(cái)報(bào)。ASML第二季營(yíng)收凈額21億歐元,毛利率為45%。在第二季新增8臺(tái)EUV系統(tǒng)訂單,讓EUV光刻系統(tǒng)的未出貨訂單累積到27臺(tái),總值高達(dá)28億歐元。 預(yù)估2017第三季營(yíng)收凈額約為22億歐元,毛利率約為43%。因?yàn)槭袌?chǎng)需求和第二季的強(qiáng)勁財(cái)務(wù)表現(xiàn),ASML預(yù)估2017全年?duì)I收成長(zhǎng)可達(dá)25%。 ASML總裁暨執(zhí)行長(zhǎng)溫彼得指出:“ASML今年的主要營(yíng)收貢獻(xiàn)來(lái)自內(nèi)存芯片客戶,尤其在DRAM市場(chǎng)需求的驅(qū)動(dòng)下,這部分的
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尼康起訴ASML和卡爾蔡司光刻技術(shù)侵權(quán) 要求賠償
- 北京時(shí)間4月24日晚間消息,尼康今日宣布,已對(duì)荷蘭半導(dǎo)體行業(yè)光刻系統(tǒng)供應(yīng)商阿斯麥(ASML)和德國(guó)光學(xué)及光電子學(xué)設(shè)備廠商卡爾蔡司(Carl Zeiss)提起訴訟,指控這兩家公司未經(jīng)授權(quán)而使用其光刻技術(shù)。 尼康稱,已在荷蘭、德國(guó)和日本對(duì)阿斯麥和卡爾蔡司提起訴訟??柌趟臼前⑺果湹墓鈱W(xué)設(shè)備供應(yīng)商。尼康在一份聲明中稱:“阿斯麥和卡爾蔡司在未經(jīng)尼康許可的前提下,在阿斯麥的光刻系統(tǒng)中使用尼康的專利技術(shù)。” 當(dāng)前,光刻系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用于制造半導(dǎo)體,而阿斯麥又主導(dǎo)著半導(dǎo)體光刻機(jī)市場(chǎng)
- 關(guān)鍵字: 尼康 ASML
光刻機(jī)領(lǐng)域國(guó)內(nèi)接近世界先進(jìn)水平,9nm線寬光刻實(shí)現(xiàn)突破
- SEMICON China 2017開(kāi)幕日即3月14日,上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司(后簡(jiǎn)稱“SMEE”)宣布,SMEE 與荷蘭公司 ASML 簽署戰(zhàn)略合作備忘錄(MoU),為雙方進(jìn)一步的潛在合作奠定了基礎(chǔ)。 根據(jù)這項(xiàng)合作備忘錄,ASML 和 SMEE 將探索就 ASML 光刻系統(tǒng)的特定模塊或半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)產(chǎn)品進(jìn)行采購(gòu)的可能性。此次MoU的簽署代表 ASML 繼日前與上海集成電路研發(fā)中心(ICRD)宣布合作之后,進(jìn)一步深入?yún)⑴c中國(guó)的IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。 光刻機(jī)被稱
- 關(guān)鍵字: 光刻機(jī) ASML
上海微電子與芯片制造設(shè)備廠商ASML簽署戰(zhàn)略合作備忘錄

- 3月14日,上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司(SMEE)宣布,與世界領(lǐng)先的芯片制造設(shè)備的領(lǐng)先廠商阿斯麥 (ASML) 簽署戰(zhàn)略合作備忘錄(MoU),為雙方進(jìn)一步的潛在合作奠定了基礎(chǔ)。 根據(jù)這項(xiàng)合作備忘ASML和SMEE將探索就ASML光刻系統(tǒng)的特定模塊或半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)產(chǎn)品進(jìn)行采購(gòu)的可能性。 “全球IC行業(yè)都在積極尋求技術(shù)藍(lán)圖進(jìn)來(lái)一步縮小芯片尺寸,為商業(yè)和消費(fèi)者用戶提供更性能更強(qiáng)但節(jié)能的電子組件。這一技術(shù)藍(lán)圖的有效執(zhí)行需要精密復(fù)雜的制造技術(shù),這只能靠各領(lǐng)先公司、研究機(jī)構(gòu)和院
- 關(guān)鍵字: SMEE ASML
半導(dǎo)體押寶EUV ASML突破瓶頸 預(yù)計(jì)2018年可用于量產(chǎn)
- 摩爾定律(Moore’s Law)自1970年代左右問(wèn)世以來(lái),全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)均能朝此一定律規(guī)則前進(jìn)發(fā)展,過(guò)去數(shù)十年來(lái)包括光微影技術(shù)(Photolithography)等一系列制程技術(shù)持續(xù)的突破,才得以讓半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)能依照摩爾定律演進(jìn),進(jìn)而帶動(dòng)全球科技產(chǎn)業(yè)研發(fā)持續(xù)前進(jìn)。 但為延續(xù)產(chǎn)業(yè)良性發(fā)展,光是依賴于傳統(tǒng)微影技術(shù)仍不夠,因此芯片制造商也正在苦思試圖進(jìn)行一次重大且最具挑戰(zhàn)的變革,即發(fā)展所謂的“極紫外光”(EUV)微影技術(shù),該技術(shù)也成為臺(tái)積電、英特爾(Intel)等
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尼康半導(dǎo)體曝光設(shè)備死于自我封閉?
- 日本光學(xué)及半導(dǎo)體設(shè)備大廠尼康(Nikon)未來(lái)可能進(jìn)行人事調(diào)整,以數(shù)位相機(jī)及半導(dǎo)體設(shè)備事業(yè)為主,希望轉(zhuǎn)型重建企業(yè)經(jīng)營(yíng)。 根據(jù)報(bào)導(dǎo),日本半導(dǎo)體事業(yè)始于日本政府的產(chǎn)業(yè)計(jì)劃,1970年代由官方與民間合作的結(jié)果,建立了從半導(dǎo)體設(shè)備到半導(dǎo)體生產(chǎn)線的完整事業(yè)。當(dāng)時(shí)名為日本光學(xué)工業(yè)的尼康,借其光學(xué)技術(shù)推出先進(jìn)的曝光裝置,制造精密半導(dǎo)體的線路,是日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在1980~1990年代與美國(guó)平起平坐的主因。 但是,1984年從荷蘭電機(jī)大廠飛利浦(Philips)獨(dú)立的ASML,由于積極與外界學(xué)校及廠商合作,
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ASML 10億歐元現(xiàn)金收購(gòu)蔡司半導(dǎo)體24.9%股份
- 全球芯片光刻技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)廠商阿斯麥(ASML) 和德國(guó)卡爾蔡司 (ZEISS) 旗下的蔡司半導(dǎo)體有限公 司 (Carl Zeiss SMT) 11月3日共同宣布,由 ASML以10億歐元現(xiàn)金收購(gòu) Carl Zeiss SMT的24.9%股權(quán),以強(qiáng)化雙方在半導(dǎo)體光刻技術(shù)方面的合作,發(fā)展下一代EUV光刻系統(tǒng),讓半導(dǎo)體行業(yè)得以用更低的成本制造更高效能的微芯片。目前雙方并沒(méi)有進(jìn)一步股權(quán)交換的計(jì)劃。 Carl Zeiss SMT是ASML最重要的長(zhǎng)期策略合作伙伴,30 多年來(lái),為ASML的光刻設(shè)備提供最關(guān)火鍵
- 關(guān)鍵字: ASML 蔡司
ASML新技術(shù) 搶救摩爾定律
- 荷商艾司摩爾(ASML)可能有辦法解決全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所面臨的問(wèn)題:如何一面讓晶片保持現(xiàn)有尺寸,一面增加它們的性能。 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的過(guò)去發(fā)展均照著摩爾定律在走,這個(gè)由英特爾共同創(chuàng)辦人摩爾于1965年首度提出的定律指出,每隔兩年,晶片制造商就能使傳統(tǒng)微處理器的電晶體數(shù)目倍增,且性能也會(huì)隨之提升。 不過(guò),英特爾執(zhí)行長(zhǎng)科再奇去年警告,經(jīng)過(guò)幾十年的快速發(fā)展,未來(lái)半導(dǎo)體業(yè)每隔兩年半業(yè)才會(huì)出現(xiàn)過(guò)去那種進(jìn)展。 ASML則相信自家突破性的技術(shù),能延后半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)步入衰敗期的時(shí)間。主導(dǎo)ASML相關(guān)業(yè)務(wù)的梅靈
- 關(guān)鍵字: ASML 摩爾定律
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