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國產(chǎn)光刻機(jī)的「行軍難」

  • 3 月 8 日,ASML 發(fā)表聲明回應(yīng)荷蘭政府即將出臺的半導(dǎo)體設(shè)備出口管制措施。ASML 稱,這些新的出口管制措施側(cè)重于先進(jìn)的芯片制造技術(shù),包括最先進(jìn)的沉積設(shè)備和浸潤式光刻系統(tǒng),ASML 將需要申請出口許可證才能發(fā)運(yùn)最先進(jìn)的浸潤式 DUV 系統(tǒng)。ASML 強(qiáng)調(diào),這些管制措施需要一定時(shí)間才能付諸立法并生效。3 月 9 日,外交部例行記者會上,有媒體提問,據(jù)報(bào)道,荷蘭外貿(mào)與發(fā)展合作大臣施賴納馬赫爾向荷議會致函稱,出于國家安全考慮,荷蘭將于今年夏天之前對其芯片出口實(shí)施限制性措施。中方對此有何評論?外交部發(fā)言人毛
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挑戰(zhàn) ASML,應(yīng)用材料公司重新定義了光刻和圖案化市場

  • EUV 太貴了,有其他解決方法嗎?
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2nm 工藝的計(jì)量策略

  • 晶圓制造工具正變得更加專用于 Si/SiGe 堆棧、3D NAND 和鍵合晶圓對。
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ASML堵了EUV光刻機(jī)的路,但國產(chǎn)光刻機(jī)有3大新方向

  • 眾所周知,當(dāng)前全球只有ASML一家能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī),甚至可以說很長一段時(shí)間內(nèi),全球也只有ASML能夠生產(chǎn)光刻機(jī),不會有第二家。原因在于ASML把EUV光刻機(jī)的路堵住了,這條路別人是走不通的。ASML與全球眾多的供應(yīng)鏈,形成了捆綁關(guān)系,像蔡司等與ASML形成了利益共同體,EUV光刻機(jī)中,蔡司等廠商至關(guān)重要,掌握核心科技,缺少這些供應(yīng)鏈,其它廠商不可能制造出EUV光刻機(jī)。所以,目前眾多的其它光刻機(jī)企業(yè),并不打算走EUV光刻機(jī)這條路,在另尋它路。同樣的,國產(chǎn)光刻機(jī)基本上也走不通EUV這條路,只能另尋他路,而
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美國發(fā)起的對華聯(lián)合出口限制留下漏洞?

  • 據(jù)報(bào)道,荷蘭和日本已與美國達(dá)成協(xié)議,共同限制向中國出口芯片制造工具,這將進(jìn)一步削弱中國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,因?yàn)槌讼拗浦袊圃焐淌褂?EUV 光刻機(jī)外,進(jìn)一步限制其使用浸沒式 DUV 光刻機(jī)。但在美國對中國發(fā)起的嚴(yán)格出口限制中,中國半導(dǎo)體企業(yè)是否可以利用任何關(guān)鍵漏洞來緩沖沖擊?這似乎是一個(gè)值得仔細(xì)研究的問題。近年來,美國加大了對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的打壓力度。不僅設(shè)計(jì)了各種策略和行動(dòng),還動(dòng)員了盟友的參與。在 2022 年 10 月對向中國出口先進(jìn)芯片制造工具和技術(shù)實(shí)施全面出口限制后,美國急于讓擁有 ASML
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EUV光刻機(jī)開始“落幕”了

  • 說到光刻機(jī)大家難免會想到三個(gè)廠商,荷蘭的ASML公司、尼康和佳能。而光刻機(jī)就是制造芯片的核心裝備。現(xiàn)如今光刻機(jī)領(lǐng)域的核心地位就是荷蘭的ASML,他與臺積電合作,共同突破了沉浸式DUV光刻機(jī),也正因?yàn)榇藙?dòng)作,才奠定了ASML在光刻機(jī)領(lǐng)域的核心地位。后續(xù)ASML又推出了更加高端的EUV光刻機(jī),而且還是獨(dú)家壟斷生產(chǎn)。這就進(jìn)一步使得ASML成為行業(yè)的巨頭。隨著科技的不斷發(fā)展,市場就要越來越追求高性能以及高要求,ASLM造成的長時(shí)間壟斷,導(dǎo)致其他同行沒有辦法發(fā)展。在他自身無法突破的前提下,他的路是越走越窄。在全球范
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三星擬新設(shè)至少10臺EUV光刻機(jī):展露要當(dāng)世界第一的野心

  • 最新消息顯示,盡管全球經(jīng)濟(jì)將放緩,但三星仍計(jì)劃擴(kuò)大DRAM與晶圓代工的晶圓產(chǎn)能,明年在其P3晶圓廠新設(shè)至少10臺極紫外光刻設(shè)備(EUV),用于生產(chǎn)最新的12nm級內(nèi)存芯片,而三星目前僅有40臺EUV光刻機(jī)。
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三星首次采用韓國本土EUV光刻膠 打破日企壟斷

  • 據(jù)報(bào)道,三星首次引入韓國本土公司東進(jìn)世美肯(Dongjin Semichem)研發(fā)的EUV光刻膠(EUV PR)進(jìn)入其量產(chǎn)線,這也是三星進(jìn)行光刻膠本土量產(chǎn)的首次嘗試。在2019年經(jīng)歷與日本的光刻膠等關(guān)鍵原料的供應(yīng)風(fēng)波之后,三星就在嘗試將關(guān)鍵原料的供應(yīng)本土化,經(jīng)過三年的努力,韓國實(shí)現(xiàn)了光刻膠本地化生產(chǎn)。在日本限制出口、三星嘗試重構(gòu)EUV光刻膠的供應(yīng)鏈之后,東進(jìn)世美肯就已開始研發(fā)EUV光刻膠,并在去年通過了三星的可靠性測試,隨后不到一年就被應(yīng)用于三星的大規(guī)模生產(chǎn)線。不過,EUV光刻膠可用于3-50道程序,目前
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有多貴?ASML新EUV光刻機(jī)單臺硬件造價(jià)2500億:可買三臺頂級航母

  • 都知道光刻機(jī)單臺成本非常的貴,但是你知道有多貴嗎?一臺數(shù)億美元的光刻機(jī)讓我們看到了一款硬件設(shè)備的價(jià)格極限,然而,ASML CEO Peter Wennink最新接受媒體采訪時(shí)透露,他們正在全力研制劃時(shí)代的新光刻機(jī)high-NA EUV設(shè)備,而高NA EUV光刻機(jī)系統(tǒng)的單臺造價(jià)將在300億到350億歐元之間,約合人民幣2195到2561億元。這個(gè)價(jià)格什么概念,一搜頂級航母的價(jià)格差不多在100億美元左右,而這臺硬件設(shè)備可以買三艘頂級航母,而ASML目前在售的雙工件臺EUV光刻機(jī)不過數(shù)億美元,作為下一代產(chǎn)品身價(jià)
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事關(guān)EUV光刻技術(shù),中國廠商公布新專利

  • 近日,據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)消息,華為技術(shù)有限公司于11月15日公布了一項(xiàng)于光刻技術(shù)相關(guān)的專利,專利申請?zhí)枮?02110524685X。集成電路制造中,光刻覆蓋了微納圖形的轉(zhuǎn)移、加工和形成環(huán)節(jié),決定著集成電路晶圓上電路的特征尺寸和芯片內(nèi)晶體管的數(shù)量,是集成電路制造的關(guān)鍵技術(shù)之一。隨著半導(dǎo)體工藝向7nm及以下節(jié)點(diǎn)的推進(jìn),極紫外(extreme ultraviolet,EUV)光刻成為首選的光刻技術(shù)。相關(guān)技術(shù)的EUV光刻機(jī)中采用強(qiáng)相干光源在進(jìn)行光刻時(shí),相干光經(jīng)照明系統(tǒng)分割成的多個(gè)子光束具有固定的相位關(guān)系,當(dāng)
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美光:成功繞過了EUV光刻技術(shù)

  • 本周美光宣布,采用全球先進(jìn)1β(1-beta)制造工藝的DRAM內(nèi)存芯片已經(jīng)送樣給部分手機(jī)制造商、芯片平臺合作伙伴進(jìn)行驗(yàn)證,并做好了量產(chǎn)準(zhǔn)備。1β工藝可將能效提高約15%,存儲密度提升35%以上,單顆裸片(Die)容量高達(dá)16Gb(2GB)。一個(gè)值得關(guān)注的點(diǎn)是,美光稱,1β繞過了EUV(極紫外光刻)工具,而依然采用的是DUV(深紫外光刻)。這意味著相較于三星、SK海力士,美光需要更復(fù)雜的設(shè)計(jì)方案。畢竟,DRAM的先進(jìn)性很大程度上取決于每平方毫米晶圓面積上集成更多更快半導(dǎo)體的能力,各公司目前通過不斷縮小電路
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芯片巨頭美光:成功繞過了EUV光刻技術(shù)

  •   本周美光宣布,采用全球最先進(jìn)1β(1-beta)制造工藝的DRAM內(nèi)存芯片已經(jīng)送樣給部分手機(jī)制造商、芯片平臺合作伙伴進(jìn)行驗(yàn)證,并做好了量產(chǎn)準(zhǔn)備?! ?β工藝可將能效提高約15%,存儲密度提升35%以上,單顆裸片(Die)容量高達(dá)16Gb(2GB)。  一個(gè)值得關(guān)注的點(diǎn)是,美光稱,1β繞過了EUV(極紫外光刻)工具,而依然采用的是DUV(深紫外光刻)?! ∵@意味著相較于三星、SK海力士,美光需要更復(fù)雜的設(shè)計(jì)方案。畢竟,DRAM的先進(jìn)性很大程度上取決于每平方毫米晶圓面積上集成更多更快半導(dǎo)體的能力,各公司目
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ASML:有望繼續(xù)向中國出貨非EUV光刻機(jī)

  • 近期,全球半導(dǎo)體龍頭設(shè)備企業(yè)阿斯麥(ASML)、泛林(LAM)公布了其最新一季度財(cái)報(bào),阿斯麥方面,最新一季度銷售額和利潤均超出市場預(yù)期,其新的凈預(yù)訂額也創(chuàng)下了紀(jì)錄。此外阿斯麥CEO Peter Wennink表示,ASML有望繼續(xù)向中國出貨非EUV光刻機(jī);泛林方面,當(dāng)季公司營收創(chuàng)下歷史新高,官方表示,2023年晶圓廠設(shè)備支出將下滑。ASML:有望繼續(xù)向中國出貨非EUV光刻機(jī)10月19日,光刻機(jī)大廠阿斯麥公布了2022年第三季度財(cái)報(bào)。數(shù)據(jù)顯示,ASML第三季度凈營收同比增長10%至58億歐元,超出此前業(yè)界預(yù)
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半導(dǎo)體廠倚重EUV 先進(jìn)微影技術(shù)的強(qiáng)勁需求

  • 微影設(shè)備業(yè)者ASML第一季已完成136臺極紫外光(EUV)曝光機(jī)出貨,累計(jì)超過7,000萬片晶圓完成EUV曝光。隨著EUV微影技術(shù)推進(jìn),預(yù)期2025年之后新一代EUV曝光機(jī)每小時(shí)曝光產(chǎn)量可達(dá)220片以上,以因應(yīng)客戶端先進(jìn)制程推進(jìn)至埃米(Angstrom)世代對先進(jìn)微影技術(shù)的強(qiáng)勁需求。雖然2023年半導(dǎo)體市況能見度低且不確定性高,但包括臺積電、英特爾、三星、SK海力士、美光等全球前五大半導(dǎo)體廠仍積極投資EUV產(chǎn)能,加上制程推進(jìn)會帶動(dòng)光罩層數(shù)增加,法人樂觀看好家登、帆宣、公準(zhǔn)、意德士(等EUV概念股明年?duì)I運(yùn)將
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荷蘭光刻機(jī)巨頭大舉增加在華員工 背后有什么深意?

  • 在美國拼命打壓中國之際,荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML卻相反,根據(jù)該公司透露的消息,ASML今年將在中國招聘200多名員工,以跟上中國的增長步伐,這意味著ASML 在華員工人數(shù)已超過 1500 人,占ASML公司全球員工的14%。那么,ASML到底想干什么呢?首先,ASML公司是想賺錢,雖然臺積電、三星等買去了荷蘭ASML公司的大部分EUV光刻機(jī),但ASML公司可以在中國銷售DUV等光刻機(jī)。而且,2021年ASML的第一大客戶就是中國大陸芯片企業(yè),中國大陸芯片企業(yè)為ASML貢獻(xiàn)了超過290億美元,而中國臺灣和韓國
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