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首套EUV光刻機(jī)安裝完成,英特爾將在愛(ài)爾蘭Fab 34量產(chǎn)Intel 4制程

發(fā)布人:芯智訊 時(shí)間:2023-09-29 來(lái)源:工程師 發(fā)布文章

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9月29日消息,英特爾近日宣布,其位于愛(ài)爾蘭的Fab 34晶圓廠已經(jīng)完成了EUV(極紫外光)光刻設(shè)備的安裝測(cè)試工作,目前已經(jīng)正常開(kāi)機(jī),即將開(kāi)始正式量產(chǎn)Intel 4制程技術(shù)。

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英特爾表示,將于當(dāng)?shù)貢r(shí)間9月29日在現(xiàn)場(chǎng)舉行活動(dòng),慶祝Intel 4制程技術(shù)的量產(chǎn),公司高層人員也會(huì)參與,包括執(zhí)行長(zhǎng)Pat Gelsinger、技術(shù)開(kāi)發(fā)總經(jīng)理Ann Kelleher和營(yíng)運(yùn)長(zhǎng)Keyvan Esfarjani等。屆時(shí)英特爾將介紹如何通過(guò)EUV技術(shù)達(dá)成生產(chǎn)和產(chǎn)品交貨的過(guò)程,引領(lǐng)其先進(jìn)的產(chǎn)品生產(chǎn),進(jìn)一步提供人工智能(AI)處理器到個(gè)人電腦,再到大型數(shù)據(jù)中心所使用的各類(lèi)處理器。

據(jù)了解,2022年4月,英特爾Fab 34晶圓廠完成了第一套EUV微影曝光設(shè)備的安裝,這是歐洲首座具備EUV光刻技術(shù)的晶圓廠。過(guò)程中,大約有100多名ASML工程師到了Fab 34晶圓廠協(xié)助安裝,同時(shí)英特爾從美國(guó)派來(lái)了工程師,負(fù)責(zé)培訓(xùn)Fab 34晶圓廠的員工如何使用EUV微影曝光設(shè)備機(jī)。之前,英特爾向ASML訂購(gòu)了多套EUV光刻設(shè)備,這其中的第一套就是安裝在Fab 34晶圓廠。

另外,為在愛(ài)爾蘭的Fab 34晶圓廠是于2019年開(kāi)始動(dòng)工,在2023年正式投產(chǎn)。英特爾曾表示,愛(ài)爾蘭晶圓廠是其全球晶圓廠擴(kuò)建計(jì)劃的一部分,其是為了滿(mǎn)足全球半導(dǎo)體迅速成長(zhǎng)的需求,同時(shí)也為英特爾的Intel 4制程技術(shù)量產(chǎn)鋪路。目前,英特爾計(jì)劃以Fab 34晶圓廠的intel 4制程技術(shù)來(lái)生產(chǎn)Meteor Lake和Granite Rapids等處理器。

編輯:芯智訊-林子


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