在全球科技競爭加劇的背景下，美國對國內(nèi)半導體行業(yè)制裁加速，涉及超過100家實體企業(yè)，覆蓋了半導體產(chǎn)業(yè)鏈多個制造環(huán)節(jié)，半導體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化迫在眉睫。

從光刻機到刻蝕機，從清洗設備到檢測設備，半導體制造設備的每一個核心部件都需要逐步實現(xiàn)國產(chǎn)替代，而開關(guān)電源作為設備中不可或缺的電力供應單元，自然也成為了國產(chǎn)化的重要組成部分。

作為半導體設備的"心臟"，開關(guān)電源的國產(chǎn)化替代需求日益凸顯。越來越多的設備廠商開始轉(zhuǎn)向高性能、高可靠性的國產(chǎn)電源方案，這不僅是應對供應鏈風險的必要舉措，更是提升產(chǎn)業(yè)自主性的關(guān)鍵一步。

一、 半導體行業(yè)制造設備中的應用特點

（1）SEMI F47認證：保障半導體設備穩(wěn)定運行

SEMI F47是半導體設備的重要測試認證，如PSL電壓瞬降和暫升測試等，主要就是考驗其設備電源的穩(wěn)定性，符合F47認證有利于提高設備的可靠性和穩(wěn)定性。

（2）高精度電壓控制、低紋波噪聲

半導體制造設備內(nèi)部控制板等負載，需開關(guān)電源提供極其精確的電壓控制，同時低紋波噪聲的控制，可保證負載不受干擾而影響精度。

（3）快速動態(tài)響應、瞬態(tài)過功率能力

設備負載變化頻繁且迅速，快速響應能有效防止電壓波動，電機等負載也需要高瞬態(tài)過功率能力。

（4）高可靠性、長壽命

設備工業(yè)級別，且不間斷工作，故對內(nèi)部的電源需具備高可靠性和長壽命，如MTBF（平均無故障時間）超過10萬小時、工業(yè)級別工作溫度、優(yōu)良的EMC性能、寬輸入的電壓范圍等，甚至部分應用需要電源符合防爆認證的設計。

二、 半導體制造設備解決方案典型案例

等離子刻蝕機

等離子刻蝕機是等離子刻蝕機是半導體制造中的關(guān)鍵設備，可用于制造微處理器、光纖通信器件等高精度芯片和電路。主要由真空室、等離子源、刻蝕腔等組成，以下是等離子刻蝕機的電源解決方案。

此設備對電源的要求：

1、國產(chǎn)化品牌、快速交付能力強；

2、高性價比、高可靠性，高電壓精度、低紋波噪聲；

3、符合 ATEX、IECEx 增安型防爆；

4、具備一定的防腐性能。

針對該設備的應用需求，金升陽提供相應的電源解決方案，此方案采用了金升陽供電一級側(cè)電源為導軌電源LIMF240-23B24、LIMF480-23B24，同時采用了2個作為冗余設計，滿足設備高可靠需求,板卡側(cè)電源則采用DCDC模塊電源VRB和URB系列，做進一步隔離和轉(zhuǎn)換電壓的作用。

三、結(jié)語

半導體制造設備的國產(chǎn)化浪潮為開關(guān)電源行業(yè)帶來了巨大的機遇與挑戰(zhàn)。作為半導體設備中的關(guān)鍵部件，開關(guān)電源的性能直接影響到設備的穩(wěn)定性和可靠性。選擇一款高性能、高可靠性的國產(chǎn)開關(guān)電源，不僅是應對供應鏈風險的必要舉措，更是提升設備競爭力的關(guān)鍵所在。金升陽作為一站式電源解決方案商，致力于為半導體領(lǐng)域用戶提供更多無憂的國產(chǎn)電源。