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顯微工作臺重復(fù)精度的測量

作者: 時(shí)間:2012-08-27 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏

用百分表(為0.01 mm)對兩個(gè)方向的定位進(jìn)行了測試。首先將某一位置進(jìn)行零點(diǎn)標(biāo)定,并向一個(gè)方向給出一定步數(shù)的脈沖,然后再返回相同的步數(shù),記錄與零點(diǎn)的偏差,進(jìn)行10次,計(jì)算這一步數(shù)的定位誤差。在X軸方向取1.4 mm(35步),2.8 mm(70步)和4.8 mm(120步),在y軸方向取1.2 mm(30步),2.4 mm(60步)和4.0 mm(100步)。計(jì)算結(jié)果是:在x方向上的標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為σ1=0.018 mm,σ2=0.025 mm和σ3=0.032 mm,平均標(biāo)準(zhǔn)偏差σX=0.025 mm;在y方向上的標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為σ1=0.009 mm,σ2=0.014 mm和σ3=0.023mm,平均標(biāo)準(zhǔn)偏差σy=0.015 mm。在X軸方向上的重復(fù)誤差分別為△x1=0.016 mm,△x2=0.019 mm,△x3=0.026mm;在y軸方向上的重復(fù)誤差分別為△y1=0.006 mm,△y2=0.010 mm,△y3=0.017 mm。測試結(jié)果表明,在X和y方向上的重復(fù)定位誤差分別為△y1=0.02 mm,△y=0.011 mm,滿足了要求。

本文引用地址:http://www.bjwjmy.cn/article/167607.htm

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