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陶氏電子材料推出OPTIVISIONTM 4540 化學機械研磨墊
- 陶氏電子材料 (Dow Electronic Materials)今天推出了 OPTIVISIONTM 4540 化學機械研磨墊，該產品的設計目標是在研磨墊的使用壽命內實現低缺陷率和低擁有成本。這款新研磨墊使用了獨特的聚合物化學組成和細孔結構，以達到使銅阻擋層研磨的缺陷率降至最低，并提供更高的介電層去除率。OPTIVISION? 4540 研磨墊擁有雙孔結構以精確控制研磨，并且在研磨墊使用壽命中提供一致的研磨墊表面。 OPTIVISION? 4540 研磨墊可用于使用傳統(tǒng)
- 關鍵字： 陶氏 研磨墊 OPTIVISION 4540
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