MEMS有一種在手機(jī)中的應(yīng)用正吸引眾多人的眼球,叫WiSpry可調(diào)諧式數(shù)字電容器。它的優(yōu)點(diǎn)可以減少載波電平的功耗和手機(jī)成本。該公司在今年四月又得到1000萬(wàn)美元的資助資金,目前其產(chǎn)品正在某一手機(jī)制造商中進(jìn)行驗(yàn)證測(cè)試,并預(yù)計(jì)今年底可以量產(chǎn)。據(jù)Jeffery Hilbert總裁的看法,全球其余的5家頂級(jí)手機(jī)制造商都有興趣導(dǎo)入此項(xiàng)技術(shù),并正在進(jìn)行相關(guān)設(shè)計(jì)及樣品的試制階段,另有兩家在評(píng)估之中。

　　該公司提出一種平行板電容器新結(jié)構(gòu),其中一塊板是由180納米CMOS工藝制成的,而將MEMS置于CMOS的上面,并且是可移動(dòng)的,采用8英寸硅片工藝及硅片級(jí)封裝技術(shù)。然而將芯片與嵌入式被動(dòng)元件一起封裝在另一個(gè)封裝殼內(nèi)。利用這些電容器的開(kāi)或關(guān)把它們排列在一組陣列中可以實(shí)現(xiàn)各種方式的聯(lián)通,包括如天線,放大器及瀘波器等。其中首位的應(yīng)用是可調(diào)諧式天線,它利用增加或減少阻抗來(lái)調(diào)正手機(jī)的功率,從而實(shí)現(xiàn)手機(jī)的功耗降低。下一步計(jì)劃是采用同樣結(jié)構(gòu)用在更低頻率及更小的天線之中。

　　Hilbert談到未來(lái)的軟件可調(diào)式陣列可能應(yīng)用于許多不同產(chǎn)品中。因?yàn)槭謾C(jī)制造商要滿足不同國(guó)家的各種不同的客戶指定需求產(chǎn)品,采用上述結(jié)構(gòu)可以節(jié)省材料費(fèi)用以及加快產(chǎn)品推向市場(chǎng)。功耗降低可以轉(zhuǎn)換成載波電平的網(wǎng)絡(luò)效率,能使用戶提高遠(yuǎn)離基站的使用能力及延長(zhǎng)手機(jī)電池的使用壽命。

　　另外,MEMS在生化醫(yī)療的應(yīng)用中也得到實(shí)際的增長(zhǎng),如美國(guó)Proteus Biomedical公司(在加州紅杉城)正把它的系統(tǒng)應(yīng)用于臨床醫(yī)療中,它利用傳感器和智能控制技術(shù)來(lái)進(jìn)行肺結(jié)核和心臟病的治療,實(shí)現(xiàn)心臟的剌激與疏通。其下一步更大計(jì)劃是在現(xiàn)有的醫(yī)療技術(shù)中作植入式應(yīng)用。

　　有項(xiàng)革命性的應(yīng)用是植入式電極(implanted electrodes),它能剌激心臟內(nèi)不同腔體位置使它們進(jìn)行同步或再同步心跳的治療。公司的核心技術(shù)在于釆用芯片級(jí)封裝技術(shù),將尺寸小于毫米的MEMS傳感器和處理器封裝系統(tǒng)放在人體的內(nèi)部使用,而且可以維持好多年,來(lái)代替必須更多的插入導(dǎo)管來(lái)剌激心臟的不同位置。Proteus技術(shù)能在一根導(dǎo)管的兩條線上裝有16個(gè)電極,利用起博器電源能使傳感器在心臟的不同腔體內(nèi)移動(dòng),并剌激產(chǎn)生合適的收縮壓力,最終能將訊息智能化傳出來(lái)。這項(xiàng)革命性的創(chuàng)新,把過(guò)去的心臟撘橋,插入導(dǎo)管的方法改変成可移動(dòng)的MEMS傳感器,可以大大降低手術(shù)的難度與風(fēng)險(xiǎn),可以想象未來(lái)應(yīng)用在腦的剌激或者脊椎骨壓迫的修復(fù)等應(yīng)用中，有著極其廣闊的應(yīng)用前景。

　　同樣未來(lái)的醫(yī)療服務(wù)也可能實(shí)現(xiàn)全程智能化。如醫(yī)療機(jī)構(gòu)可以通過(guò)電話告訴患者服藥。Proteus已制造出硅基比毫米還小的傳感器,而這種傳感器可以與藥丸附在一起。當(dāng)藥丸吞下遇到水時(shí)傳感器會(huì)自動(dòng)打開(kāi),并能發(fā)出不是RF的傳導(dǎo)訊號(hào)。接受器可以用繃帶綁在皮膚表面或者皮下植入，以及象一個(gè)起博器一樣,然后將數(shù)據(jù)通過(guò)電話或者計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)傳輸出去。這樣的病人就可以在家中,不必每天來(lái)到醫(yī)院進(jìn)行醫(yī)療診斷。