在確定并減小外部誤差后，如果可能的話，可將測試系統(tǒng)的內(nèi)部和外部偏移從將來的測量結果中減去。首先，如上所述，在輸入戴有金屬帽的情況下對SMU進行自動校準。然后，確定每個SMU至探針的偏移。利用軟件中的公式計算器工具，可將該平均偏移從隨后的電流測量結果中減去。為了進行極低電流的測量，應定期重新測量平均偏移電流(至少每月一次)。

結論

當配備可選的吉時利4200-PA型遠程前置放大器時，4200-SCS型半導體特性分析系統(tǒng)可準確測量pA級或更小的電流。應通過測量整個測量系統(tǒng)的偏移電流來確定系統(tǒng)的限制，必要時進行調節(jié)。可采用一些技術減小測量誤差源，例如屏蔽、保護、儀器的正確接地，以及在KITE軟件中選擇合適的設置，包括留有足夠的建立時間。吉時利的低電平測量手冊提供了關于優(yōu)化低電平測量技術的更多信息。

更多參考
Keithley Instruments，4200-SCS型參考手冊，第5章(含在系統(tǒng)軟件中)
Keithley Instruments，低電平測量手冊，2004年第6版。