日本Gigaphoton公司2016年6月24日宣布，開發(fā)出了用于制造平板顯示器(FPD)的極小激光退火工序用準分子激光器“GIGANEX”系列。不久前將該激光器配備在日本V-Technology公司的極小激光退火裝置上，供貨給了大尺寸液晶屏制造設備工廠用于LTPS(低溫多晶硅)TFT液晶面板制造。

　　“GIGANEX”準分子激光器的機殼示意圖(照片出自Gigaphoton的新聞發(fā)布資料)

　　這是一款應用高可靠性半導體光刻用準分子激光器的退火用準分子激光器，是專供V-Technology制造的裝置使用的專用機。通過導入已有的a-Si(非晶硅)面板制造工序，使a-Si向p-Si(多晶硅)結(jié)晶化，可制造用以往a-Si無法制造的8K等高精細面板。

　　另外還可實現(xiàn)以往激光退火工藝無法實現(xiàn)的大型面板尺寸的制造，可滿足制造50～70英寸TV面板的大尺寸液晶制造設備工廠的要求。

　　GIGANEX是面向FPD制造、柔性器件工藝及光刻以外的半導體制造等領域的準分子激光器產(chǎn)品的新品牌。Gigaphoton已在5月22～27日于美國舉行的“Display Week 2016”上，展出了用GIGANEX制造的試制面板。