基于MEMS的硅微壓阻式加速度傳感器的設計
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5．2 測試結果分析
通過對被測試加速度傳感器輸出電壓與加速度之間關系的分析，其基本屬于線性關系，采用一元線性回歸模型對被測試傳感器數(shù)據(jù)進行直線擬合，其結果，如圖5所示。本文引用地址：http://www.bjwjmy.cn/article/163461.htm
對于懸臂梁結構的硅微型加速度傳感器，在其它結構尺寸相同的情況下，梁的厚度對加速度傳感器的靈敏度影響最大，基本上是反比的關系。這是由于在同樣的載荷下，梁厚與應力大小成反比，而應力大小直接影響靈敏度，應力越大靈敏度越高。由于加工出芯片梁的厚度比設計值偏差較大，故其測試靈敏度比設計值小，如表3所示。
在質量塊尺寸一定的情況下，梁的長度與靈敏度成正比，梁的寬度與靈敏度成反比。在梁的尺寸一定情況下，質量塊的質量與靈敏度成正比。
6 結束語
對制作的加速度傳感器樣品，在馬希特擊錘上進行了大量地沖擊標定測試，測試結果表明：設計和加工制作的加速度計樣品在進行加速度的沖擊時，有較好的信號輸出，單臂梁結構的加速度計的靈敏度為1 μV／gn；雙臂梁結構的加速度計的靈敏度為1．6μV／gn，與理論設計值基本吻合。
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