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Mattson Technology獲得光刻膠剝離系統(tǒng)新訂單

作者：時間：2010-10-09 來源：SEMI

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　　先進半導體工藝設備供應商Mattson Technology日前宣布從一家亞洲新客戶處獲得了Suprema光刻膠剝離系統(tǒng)訂單。該系統(tǒng)可用于先進邏輯器件生產，包括前端工藝及后端工藝。預計這些系統(tǒng)將于第四季度出貨。

本文引用地址：http://www.bjwjmy.cn/article/113309.htm

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關鍵詞： Mattson 光刻膠剝離

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