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利用SiO2薄膜臺(tái)灣大學(xué)推出小型壓力傳感器

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作者: 時(shí)間:2006-02-07 來源: 收藏
    臺(tái)灣淡江大學(xué)機(jī)械與電機(jī)工程系日前開發(fā)成功出尺寸為50μm

關(guān)鍵詞: 用SiO2

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