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政府大力扶植臺灣MEMS產(chǎn)業(yè) 首度列入政策性補助產(chǎn)業(yè)
- 政府對于扶植臺灣MEMS產(chǎn)業(yè)再下猛藥,為了讓臺灣半導體廠商愿意全心投入發(fā)展MEMS產(chǎn)業(yè),因此首度將MEMS列入“政策性”補助產(chǎn)業(yè),使臺灣半導體廠商向政府申請MEMS產(chǎn)業(yè)補助時,不受科專計劃3年3,000萬元(新臺幣,下同)限制,且據(jù)了解,上周五“經(jīng)濟部”主動邀請聯(lián)電執(zhí)行長孫世偉前往“經(jīng)濟部”,針對政府未來將MEMS產(chǎn)業(yè)納入政策性補助產(chǎn)業(yè)做廣泛性討論。 過去政府對MEMS產(chǎn)業(yè)的扶持,包含了國家型芯片系統(tǒng)計劃,還有已進行2年,并
- 關鍵字: MEMS 半導體
意法半導體推出LIS352AX基于MEMS的運動傳感器
- 全球領先消費電子和便攜設備運動傳感器芯片供應商意法半導體推出一款內(nèi)置絕對模擬輸出的三軸加速傳感器,進一步擴大超微型高性能的MEMS產(chǎn)品陣容。意法半導體的LIS352AX在2.16V到3.6V之間任何電源電壓都可以操作,適用極寬的工作溫度范圍,經(jīng)久耐用,是空間和成本受限的電池供電設備的運動傳感應用的理想選擇。 意法半導體這款最新的3軸加速傳感器以絕對模擬輸出的形式提供加速度的數(shù)據(jù)。新產(chǎn)品LIS352AX利用內(nèi)部穩(wěn)壓電路,用于手機和其它便攜設備時,加速度測量不會受到移動設備常見的電源電壓波動的影響。
- 關鍵字: ST MEMS 傳感器
Point 35 Microstructures將氧化物釋放添加到MEMS制造系列
- 全球微機電系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)業(yè)蝕刻和沉積設備供應商Point 35 Microstructures公司,今日在上海宣布推出汽相氧化物釋放蝕刻模塊,進一步擴展其微機電系統(tǒng)(MEMS) 單晶圓制造memsstar?產(chǎn)品系列。這項新增的技術將確保MEMS器件設計師得到更多的生產(chǎn)選擇,同時帶來了寬泛的制造工藝窗口和各種工藝控制等等好處,從而使良率得到了最大的提升。 SVR-vHF氧化物釋放模塊結合現(xiàn)有的memsstar? SVR-Xe 犧牲性汽相釋放(SVR)模塊,利用無水氫氟蒸汽(aH
- 關鍵字: Point 35 Microstructures,SVR,MEMS
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