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EEPW首頁 >> 主題列表 >> 氮化硅生產

N2 Purge在LPCVD爐管氮化硅工藝中的應用

  • 在亞微米的生產制造技術中，氮化硅工藝的particle已經成為產品良率的主要影響因素。本文主要針對立式LPCVD氮...
  • 關鍵字： N2  purge  氮化硅生產  Particle問題  
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氮化硅生產介紹

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