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波導SOl化學氣相沉積工藝特點

  • 對于SOl波導來說，CVD技術一般用來淀積其上包層，通常為二氧化硅或氮化硅。對于調(diào)制器等有源器件來說，這一層還起著隔離金屬電極減小電極對波導造成損耗的作用，所以厚度一定要選擇合適，不能太薄，如果薄了就不能起
  • 關鍵字： 工藝  特點  沉積  氣相  SOl  化學  波導  

基于MEMS技術的微型氣相色譜柱的研究(

  • 1 引言氣相色譜法(GC)是英國生物化學家MartinATP等人在研究液液分配色譜的基礎上，于1952年創(chuàng)立的一種極有效的分離方法，它可分析和分離復雜的多組分氣體混合物。目前的氣相色譜系統(tǒng)主要包括5個主要部分：載氣、進樣
  • 關鍵字： 色譜  研究  氣相  微型  MEMS  技術  基于  

氣相色譜儀的使用方法

  • 氣相色譜儀的使用方法一、色譜儀的安裝 1．對色譜儀分析室的要求 （1）分析室周圍不得有強磁場，易燃及強腐蝕性氣 ...
  • 關鍵字： 氣相  色譜儀  

氣相色譜(GC)的基本原理

  • 氣相色譜(GC)的基本原理GC是以惰性氣體作為流動相，利用式樣中個組分在色譜柱中的氣相和固定相間的分配系數(shù) ...
  • 關鍵字： 氣相  色譜  
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氣相介紹

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