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突破14nm工藝壁壘：天準(zhǔn)科技發(fā)布TB2000晶圓缺陷檢測裝備

  • 3月26日，蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司（股票代碼：688003.SH）宣布，旗下矽行半導(dǎo)體公司研發(fā)的明場納米圖形晶圓缺陷檢測裝備TB2000已正式通過廠內(nèi)驗證，將于SEMICON 2025展會天準(zhǔn)展臺（T0-117）現(xiàn)場正式發(fā)布。這標(biāo)志著公司半導(dǎo)體檢測裝備已具備14nm及以下先進(jìn)制程的規(guī)?；慨a(chǎn)檢測能力。這是繼TB1500突破40nm節(jié)點后，天準(zhǔn)在高端檢測裝備國產(chǎn)化進(jìn)程中的又一里程碑。核心技術(shù)自主研發(fā)TB2000采用全自主研發(fā)的高功率寬光譜激光激發(fā)等離子體光源系統(tǒng)、深紫外大通量高像質(zhì)成像系統(tǒng)，配合高行頻TD
  • 關(guān)鍵字： 14nm  天準(zhǔn)科技  TB2000  晶圓缺陷檢測  

國內(nèi)首臺40nm明場納米圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備發(fā)布

  • 近日，天準(zhǔn)科技參股的蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司（以下簡稱“矽行半導(dǎo)體”）宣布，公司面向40nm技術(shù)節(jié)點的明場納米圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備TB1500已完成廠內(nèi)驗證，標(biāo)志著國產(chǎn)半導(dǎo)體高端檢測設(shè)備實現(xiàn)了新的突破。這是繼去年8月，天準(zhǔn)科技正式交付面向12英寸晶圓65~90nm技術(shù)節(jié)點的寬波段明場缺陷檢測設(shè)備TB1000不到一年后，再次取得的階段性新進(jìn)展。資料顯示，矽行半導(dǎo)體成立于2021年11月，專注于高端晶圓缺陷檢測設(shè)備及零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。本次產(chǎn)品TB1500是矽行半導(dǎo)體最新的研發(fā)成果，核心關(guān)鍵部件全部實
  • 關(guān)鍵字： 40nm  明場納米圖形  晶圓缺陷檢測  
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晶圓缺陷檢測介紹

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