- 尼康日前正式宣布,2006年1月已向大型半導體廠商供應用于55nm工藝(hp55)芯片制造、開口數(NA)為1.07的液浸ArF曝光設備“NSR-S609B”。這是全球首次供應NA超過1的液浸ArF曝光設備。 這家大型半導體廠商的名字,尼康沒有公布,估計是過去在技術方面與之開展合作的東芝。 作為全折射型液浸曝光設備,NSR-S609B具有全球最大的NA,配合偏光照明技術,能夠實現很高的分辨率。對于液浸產生的缺陷和重合不穩(wěn)定性的問題,據稱利用名為“Local-fill(局部
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NA 尼康 嵌入式系統(tǒng)
尼康介紹
尼康(日文:株式會社ニコン,英文:Nikon Corporation,又譯為藝康(香港)股份有限公司),即日本光學,知名日本照相機品牌,也是三菱集團的關系企業(yè)之一。尼康致力于光學和影像產品的研究開發(fā),其產品包括照相機、望遠鏡、顯微鏡和測量儀器。 到2005年為止,共有16,758名雇員。公司總部位于日本東京千代田區(qū)丸之內,而照相機相關業(yè)務與服務中心位于日本東京品川區(qū)西大井。
尼康創(chuàng)建于1 [
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