光刻機行業(yè) 文章 進入光刻機行業(yè)技術社區(qū)
2019年中國光刻機行業(yè)市場現狀、行業(yè)格局及發(fā)展趨勢分析
- 光刻技術指利用光學-化學反應原理,將電路圖轉移到晶圓表面的工藝技術,光刻機是光刻工序中的一種投影曝光系統(tǒng)。其包括光源、光學鏡片、對準系統(tǒng)等。在制造過程中,通過投射光束,穿過掩膜板和光學鏡片照射涂敷在基底上的光敏性光刻膠,經過顯影后可以將電路圖最終轉移到硅晶圓上。光刻工藝步驟繁多數據來源:公開資料整理一、市場現狀及行業(yè)格局 光刻機分為無掩模光刻機和有掩模光刻機。(1)無掩模光刻機可分為電子束直寫光刻機、離子束直寫光刻機、激光直寫光刻機。電子束直寫光刻機可以用于高分辨率
- 關鍵字： 光刻機行業(yè)
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光刻機行業(yè)介紹
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