車用TPMS專用傳感器技術剖析
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為了便于TPMS接收器的識別，每個壓力傳感器都具有32位獨特的ID碼，它可產生4億個不重復的號碼。
圖3壓力、加速度與ASIC/MCU組合封裝在一個包裝內
圖4壓力/溫度導入孔
圖5硅壓阻式壓力傳感器結構
圖6加速度傳感器平面結構圖
圖7加速度傳感器切面結構圖
同樣，加速度傳感器也是用MEMS技術制作的，圖6是MEMS加速度傳感器平面結構圖，圖7是加速度傳感器切面結構圖，圖中間是一塊用MEMS技術制作的、可隨運動力而上下可自由擺動的硅島質量塊，在其與周邊固置硅連接的硅樑上刻制有一應變片，與另外三個刻制在固置硅上的應變片組成一個惠斯頓測量電橋，只要質量塊隨加速度力擺動，惠斯頓測量電橋的平衡即被破壞，惠斯頓測量電橋就輸出一個與力大小成線性的變化電壓△V。
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