3．2 測量不確定度的分析
噪聲系數(shù)測量不確定度不僅取決于噪聲系數(shù)分析儀的準確度，而且與被測件的噪聲系數(shù)和增益的大小有關，如圖6所示。

同時考慮失配的因素，采用如下計算公式：
式中：

根據(jù)上述公式，以94 GHz MMIC放大器為例，計算UB。
噪聲系數(shù)NF1(dB)=3．43 dB，F(xiàn)1=2．203，
增益G1(dB)=13．46(dB)，G1=22．182，

3 mm接收機噪聲系數(shù)NF2(dB)=4．85 dB，F(xiàn)2=3．054 9，
駐波比為1．12，ρ=0．056 6，
噪聲源輸出駐波比為1．13，ρ=0．061 0，
F12=F1十(F2-1)／G1=3．608 9。
計算下述各量：

從噪聲系數(shù)分析儀技術指標可知：δNF=0．1 dB，δG=0．15 dB。
根據(jù)失配不確定度公式：±20log(1+ρsρl)計算出各失配不確定度：

根據(jù)式(7)計算出噪聲系數(shù)測量不確定度為0．28 dB。

4 結束語
本文只介紹了92～97 GHz頻率范圍的低噪聲單片集成電路裸片噪聲系數(shù)的測量，實際上本系統(tǒng)可以用于75～110 GHz頻率范圍內的噪聲系數(shù)的測量。目前正在本系統(tǒng)上做3 mm噪聲源校準技術的研究。