離子滲氮電源中的滅弧措施
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圖5帶電容的電子開關滅弧電路
| 滅弧方式 | 弧光放電現(xiàn)象 | 電流波形 | 滅弧時間 |
|---|---|---|---|
| 無滅弧措施 | 輝光熄滅，白色弧光成團，彌散在放氣口周圍，并轉移到陰極其它部位，一定時間后，自行消失或跳閘。 |  | 電流迅速增加，有限流電阻時小弧光放電，秒級自行熄滅，大弧光放電時跳閘。 |
| 串聯(lián)大電阻降壓 | 輝光熄滅，在放氣口周圍有成團弧光，維持一定時間后，自行熄滅。 |  | 電流增加到一定程度形成轉弧或電流增加致使電壓下降至起輝電壓以下，即熄滅10－1～100s級。 |
| 電流截止負反饋 | 輝光熄滅，小團弧光集中在放氣口，并向周圍成錐狀散發(fā)，即行熄滅。 |  | 與截止點遠近有關，最長為66.7μs，10－3s數量級。 |
| LC振蕩滅弧 | 不感覺輝光熄滅，在放氣口周圍成斷續(xù)白色弧光，配合截止負反饋時，弧光增加，即行熄滅，有時產生轉弧。 |  | 單次可達10－4s，按τ=π計算，大電流有截止，同上。 |
| 晶閘管旁路 | 不感覺輝光熄滅，在放氣口周圍，斷續(xù)多次弧光，配合截止負反饋，即行熄滅。有時產生轉弧。 |  | 單次可達一個振蕩周期的時間，重復加電壓又再次打弧，有截止同上。 |
| 電子開關 | 在放氣口有一小白點弧光，即行熄滅。 |  | 一次滅弧達10－5s數量級。 |
| 脈沖電源 | 輝光穩(wěn)定不熄滅，無明顯滅弧現(xiàn)象。 |  | 由供電脈沖的寬度決定，一般可達10－6s數量級。 |
采用普通晶閘管，適用大電流的隔離電容儲能并聯(lián)—串聯(lián)晶閘管電子開關電路原理如圖5所示。由于這種電路的電容工作時已經充上與爐子兩端極性相反的電壓，故打弧時V1和V2開通，強迫爐子電流下降，同時關斷V3，可以獲得更快的滅弧速度。
36脈沖電源滅弧
脈沖電源是近年來新發(fā)展起來的離子滲氮電源，它使原直流供電方式變?yōu)楦哳l脈沖方式，電壓電流自然過零，大大抑制了弧光放電的產生，在發(fā)生打弧時，可迅速關斷可控器件滅弧，滅弧速度可達幾個μs。
4各種滅弧方式的現(xiàn)象及情況對比
各種滅弧方式的比較如表1所示。
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